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硅技术，做为国家重点研发项目虽然已有中国恩菲等研发机构开发了工艺且实现的量产，由于国外技术封锁，提纯技术是工艺核心单元也是影响其产品质量的技术瓶颈，产品纯度高(9 个 9) 和提纯工艺能耗高是两个重要技术指标。项目团队自 2008 以来一直从事改良西门子法生产多硅工艺氯硅烷体系提纯单元关键技术的研发，针对提纯产品三氯氢硅纯度高（9 个 9）和能耗高（回流比大于 50）的技术瓶颈，一是创新性地开发了高效 IPE-PAC 双层丝网填料(理论板数大于 8)替代板式塔分离效率不高的缺点，打破了德国 WacKer 公司和美国 REC 公司的技术垄断，彻底解决多晶硅生产技术的提纯纯度不达标直接影响产品质量的技术瓶颈；二是开发了系统闭式多级提纯和多效热耦合集成关键技术，提出后产品稳定在 9 个 9 以上，系统能耗节能＞40%（能耗＜24 吨蒸汽/吨产品），物料利用率＞99%，技术指标均处于国际领先水平。
高效电子级多晶硅氯硅烷提纯关键技术及产业化应用